LSM-9000LE全自動(dòng)應(yīng)力儀測(cè)量原理

測(cè)量方法采用固定圓偏光板，旋轉(zhuǎn)檢偏鏡的方法。 光線經(jīng)過(guò)直線偏光+1/4波長(zhǎng)板變成圓偏振光，放置有應(yīng)力的樣品，雙折射的慢軸快軸間產(chǎn)生光程差，變成橢圓偏振光。然后旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，橢圓偏振光內(nèi)，偏振光透射軸和平行光以直線偏振光方式通過(guò)。此時(shí)可以看到通過(guò)檢偏鏡的光強(qiáng)度依據(jù)光程差和慢軸方向隨著檢偏鏡角度變化有所變化。全自動(dòng)應(yīng)力儀測(cè)量一次預(yù)定的四個(gè)角度有相機(jī)拍照，從各個(gè)角度的光強(qiáng)度得出偏振光狀態(tài)（橢圓率和橢圓斜度）。

檢測(cè)不放置樣品和放置樣品時(shí)，從各個(gè)偏光狀態(tài)的不同，算出光程差的大小和慢軸方向。

塞納蒙法是通過(guò)檢測(cè)者旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，測(cè)量部位由最亮變成最暗的狀態(tài)，定量檢測(cè)光程差的檢測(cè)方式。但是，一直是肉眼觀測(cè)型，根據(jù)測(cè)量環(huán)境和測(cè)量者的不同，明亮度的判別會(huì)有偏差。另外，半自動(dòng)測(cè)量的精度與肉眼觀測(cè)相比有所改善，但是測(cè)量部位限于圖像中特定的一部分。塞納蒙法沒(méi)法檢測(cè)慢軸方向，只能參考感光色法推斷。另外觀測(cè)二次元分布的時(shí)候，長(zhǎng)時(shí)間多次測(cè)量的結(jié)果有必要繪制圖像。

本裝置是在直線偏光板和1/4波長(zhǎng)板組成的圓偏光板上放置樣品的，可以直接開(kāi)始測(cè)量。因此熟練者和初學(xué)者沒(méi)區(qū)別，都可以簡(jiǎn)單進(jìn)行光程差和慢軸方向的定量測(cè)量。另外，不僅可以測(cè)特定部位，使用內(nèi)置CCD相機(jī)，每個(gè)像素單位都可以測(cè)量。因此光程差和慢軸方向可以在顯示器上顯示2次元圖像，分布狀態(tài)也可以一目了然。

LSM-9000LE全自動(dòng)應(yīng)力儀用途

定量測(cè)量玻璃產(chǎn)品的殘余應(yīng)力檢測(cè)塑料產(chǎn)品的應(yīng)力 測(cè)量光學(xué)薄膜的光程差 檢測(cè)結(jié)晶材料有無(wú)應(yīng)力

關(guān)于樣品

因?yàn)槭褂?90nm的光源，不透光的樣品，透光率低的產(chǎn)品或者因漫反射導(dǎo)致透明度低的樣品都不能檢測(cè)

主要技術(shù)參數(shù)

圓偏光板尺寸：W200ⅹD200 測(cè)量空間高度：0-130mm 檢測(cè)方法：旋轉(zhuǎn)檢偏鏡法 設(shè)定波長(zhǎng)：590nm 反復(fù)測(cè)量精度：（標(biāo)準(zhǔn)偏差）1nm 測(cè)量范圍：175ⅹ175mm 有效像素：1100ⅹ1100 光源：高亮度LED 電源：AC100～240V  50/60Hz 運(yùn)行系統(tǒng)：WIN7或以上